MicroProf® FS

FRT MicroProf® FS 是一款全自动晶圆量测设备，可根据代工厂的广泛应用需求进行配置，既可采用标准化方案，也可提供定制化解决方案。

在当今晶圆代工领域，灵活性与多功能性是量测解决方案的关键。MicroProf FS 采用模块化架构，可打造全自动多探头设备，覆盖所有必要的测量任务。因此，它被称为 Foundry Star（代工明星）。

该系统的核心量测组件基于成熟的 FRT MicroProf® 300 多探头设计，通过混合量测（Hybrid Metrology）理念，能够在单一传感器或测量原理不足以满足需求时，提升对复杂样品的测量精度。设备配备花岗岩基座，可配置三点式样品固定夹具或真空吸盘，保证测量稳定性与可靠性。

产品亮点

• 面向 MEMS 与晶圆代工厂的全自动多探头技术与混合量测配置

• 可根据晶圆代工多样化应用需求进行定制化配置

• 标准化硬件组件可灵活组合，满足客户特定量测方案

• 具备对各类衬底的广泛适配性

• 配套高性能自研软件，实现全自动 2D/3D 表面量测