MicroProf® FE

FRT MicroProf® FE 是 Camtek 的标准型、全自动 2D/3D 晶圆量测设备。它将成熟的 MicroProf® 300 与晶圆搬运系统（EFEM，前端模块）结合在一起。凭借完全符合 SEMI 标准的设计、几乎免维护的硬件组件以及高吞吐率检测能力，MicroProf FE 是前道大规模量产线的理想量测解决方案。

除了标准配置外，MicroProf FE 还可搭载多种附加功能，并支持后续升级扩展。

产品亮点

• 面向前道工艺的全自动 2D/3D 表面量测

• 多探头技术，支持混合量测

• 针对高产能晶圆厂的专用在线解决方案

• 单机械臂机器人，支持 300 mm 晶圆（SEMI 标准）搬运

• 真空吸附式末端执行器

• 双装载口，支持 300 mm FOUP 晶圆盒（SEMI 标准）

• 可选配预对准器和RFID 读码器