MicroProf® PT

FRT MicroProf® PT 是一款全自动量测工具，适用于所有常见尺寸的面板级混合量测应用。其面板搬运系统配备双面板装载机，并支持多探头配置（包括形貌点探头、视场探头及膜厚探头），能够在研发与生产（从实验室到量产工厂）中胜任多种量测与检测任务。

全新 MicroProf PT 搭载核心量测组件，应用于面板级先进封装，不仅具备大规模生产的工业适用性，还满足极致小型化与系统性能提升的需求，同时降低制造成本。

MicroProf PT 集成了 SurfaceSens 技术，能够提供广泛的量测与检测应用，并支持多种光学传感器测量原理。例如：高精度的凸点与硅通孔形貌测量、厚度与层粗糙度分析，以及其他2D/3D参数的检测。

产品亮点

• 配备双装载机的全自动化面板级量测设备

• 支持搬运最大 600 mm × 600 mm 的面板尺寸

• 集成 SurfaceSens™ 多探头技术（形貌点探头、视场探头、膜厚探头）

• 基于模块程式的 FRT Acquire Automation XT 软件，实现复杂结构的测量自动化与混合分析

• 在一体化全自动机台上灵活结合量测与检测，覆盖研发到量产

• 可处理不同厚度的面板（从数毫米到 200 μm）

• 支持包括玻璃在内的所有衬底材料

• 完全符合 SEC/GEM 协议，便于产线集成