MicroProf® MHU

FRT MicroProf® MHU 是一款配备物料搬运单元（Material Handling Unit，支持全自动搬运及手动晶圆盒装载）的量测设备，专为半导体、MEMS、蓝宝石及 LED 行业设计。典型应用包括对裸晶圆、镀膜晶圆以及结构化晶圆在不同光刻工艺步骤中的测量。

凭借双真空吸附机械手臂，设备可实现高达 180 片/小时 的极高吞吐率，支持处理 2–8 英寸晶圆。最多可同时处理 4 个开放式晶圆盒，并可选配预对准器和 OCR 读码器。

该系统支持双面样品测量，能够同时完成晶圆正反面的检测，包括厚度、总厚度变化（TTV）、粗糙度、波纹度和平整度等参数。还可实现晶圆全形貌测量，涵盖全局与局部参数分析。设备具备晶圆分类功能，可根据客户需求进行灵活设置。

基于 SurfaceSens 技术，MicroProf MHU 还可随时加装额外传感器，以满足更多测量任务。典型应用包括薄膜及多层膜厚测量、台阶高度、微凸点（bumps）、硅通孔（TSVs）、沟槽等结构的检测。

凭借完全符合 SEMI 标准的设计、坚固的硬件组件以及高通量性能，MicroProf MHU 是生产环节理想的量测解决方案。

产品亮点

• 双机械臂真空吸附式物料搬运单元

• 可选配边缘搬运和/或非接触式搬运

• 一台设备可支持 2–8 英寸不同尺寸晶圆

• 可选配 OCR 读码器与预对准器

• 多探头配置实现最大灵活性

• 晶圆双面同步测量（TTV）

• 借助 FRT Acquire Automation XT 软件实现全自动程式运行

• 可选配 SECS/GEM 接口

• 晶圆分类功能，可根据客户需求设置

• 可选配过滤风机单元，支持 ISO 4 级洁净室环境