MicroProf® 300

FRT MicroProf® 300 属于高性能且多用途的 MicroProf 系列，并配备了成熟的 SurfaceSens 技术。该设备特别适用于质量保证、研发和生产环节，能够在不接触、不损坏样品的情况下，精准测定理想表面形貌的微小偏差，测量精度可达亚微米级。除了样品表面的粗糙度，表面形貌也是最关键的参数之一，必须精确检测其微小的公差范围。

MicroProf 300 完全满足这些需求，并且可以集成到全自动化生产线中。该系统支持丰富的传感器选择，并可实现双面样品检测（TTV），用户能够随时根据测量需求灵活配置。与此同时，简便的自动化量测流程大幅提升了生产效率和过程稳定性。

产品亮点

• 支持全套多探头配置

• 内置摄像头与可扩展照明装置

• 配备TFT显示器的控制与测量电脑

• 配备高精度轴的电动传感器定位系统

• 垂直拼接功能，扩展高度测量范围

• 高速XY精密定位平台，具备卓越的运动与定位精度

• 稳固的花岗岩基座，具备优异的减振性能

• 搭载 FRT Acquire 软件，操作简便高效

• 借助 FRTs Acquire Automation XT 软件实现全自动 2D/3D 测量

• 配套便捷易操作的FRT Mark III 分析软件，符合 DIN-ISO 与 SEMI 标准，提供多样化的分析与显示功能