MicroProf® 200

FRT MicroProf® 200 是一款高性能量测设备，用于几乎所有表面与薄膜的非接触、无损表征。这款设备基于成熟的 SurfaceSens 技术，可在同一系统上完成多种测量任务。其内置的高分辨率 CWL 传感器可轻松、可靠地测量多项参数，例如表面形貌、粗糙度和轮廓。通过扩展多种额外传感器，MicroProf 200 能够灵活适配不同的测量任务。借助 TTV 模块，可以实现双面检测；通过物料自动搬运单元（MHU），设备也能随时升级以满足新的自动化测量需求。凭借这些特性，MicroProf 200 完全满足最严苛的自动化要求。

产品亮点

• 支持全套多探头配置

• 内置摄像头与可扩展照明装置

• 配备TFT显示器的控制与测量电脑

• 高速XY精密定位平台，具备卓越的运动与定位精度

• 稳固的花岗岩基座，具备优异的减振性能

• 搭载 FRT Acquire 软件，操作简便高效

• 借助 FRTs Acquire Automation XT 软件实现全自动 2D/3D 测量

• 配套便捷易操作的FRT Mark III 分析软件，符合 DIN-ISO 与 SEMI 标准，提供多样化的分析与显示功能