SurfaceSens

SurfaceSens 技术旨在提供更深入的测量样品信息和更高的产品质量洞察。所有 FRT MicroProf® 系列量测系统都可以配置互补的传感器技术。在混合分析流程中，原本难以获取的晶圆或其他样品的表面数据也能被精确测量。

SurfaceSens 允许在一台设备中组合多种独特的量测与检测原理，从而实现最大化的灵活性。设备可配置顶部与底部测量，并支持点式、线式和视场式等多种光学传感器，能够全面表征表面参数，如形貌、粗糙度、TTV（总厚度变化）、翘曲、平整度、共面度、样品与膜层厚度等。

此外，传感器还可灵活扩展与更换，以便适应未来的测量任务，例如个性化样品托架。这样，用户可以快速、高效、可靠地解决测量需求——MicroProf + SurfaceSens 的组合正是如此。

点式传感器

CWL 是一款基于色散测距原理的高速光学点式传感器，可在高反射或低反射表面上可靠工作。对于需要更快测量速度的应用，SLS 光学线传感器是最佳选择，它同样基于色散测距原理，但可同时成像 192 个等距排列的测量点，大幅缩短了扫描时间。

共焦显微镜（CFM）

一种非接触式测量方法，能够快速进行小结构的高分辨率3D测量。凭借面阵共焦测量原理，几秒钟内即可获得有价值的数据。

白光干涉仪（WLI）

基于白光干涉原理的光学3D表面传感器，适用于快速、平面化的拓扑测量，具备亚纳米级高度分辨率。

膜厚传感器

系统还可选配基于干涉或反射原理的光学薄膜厚度传感器，可实现从数毫米到小于 1 纳米范围内的无损测量。

FTR 薄膜传感器基于光谱反射测量与先进的分析软件，能够测量透明薄膜及多层堆叠膜厚。

对于在可见光下不透明、但对近红外光透明的材料，FRT 提供 IRT 薄膜传感器。该传感器基于红外干涉原理，专为此类材料的膜厚测量而开发。

原子力显微镜（AFM）

当光学传感器的空间分辨率不足时，可选配 AFM，以实现亚纳米级的形貌测量。我们还提供可安装于光学显微镜物镜位置的 AFM 模块，用于扩展现有仪器的分辨率与测量能力。

产品亮点

• 将多种独特的量测与检测方法集成于一体，实现最大灵活性

• 提供丰富的光学传感器选择，可测量表面形貌、粗糙度、TTV、翘曲、平整度、共面度、膜厚等多项参数

• 可扩展与更换传感器，为未来测量需求提供更高适应性