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Eagleᵀ-i
Camtek专为速度和精度而设计的Eagleᵀ-i是市场上最快、最准确的2D检测工具之一。
该系统提供领先的2D检查功能,其动力来自:
· Genesis检测引擎
· 新型号摄像头
· 新型号的高端光纤通道
· 特殊LED照明
· 可导入CAD设计图,基于图纸检测
· 尖端处理能力
Eagleᵀ-i为封装应用程序提供高级解决方案:
· 低至2um RDL检查
· 面板传输及检测
· 翘曲晶圆传输及检测
突出点
· 最高检测0.2μm的表面缺陷
· 多重放大,优化灵敏度
· 可用分区域的检测算法,以优化灵敏度
· 可导入CAD设计图,基于图纸检测
· 能够在一个检测周期内使用不同的聚焦、放大倍率、光源、灵敏度和检测引擎运行连续扫描