Eagle G5

Eagle G5 基于成熟的 Eagle 产品系列开发，旨在实现无与伦比的检测速度与效率。

• 显著提升的吞吐量

• 全新优化的光学系统

• 更高分辨率，实现增强的检测与测量性能

• 针对多重 RDL、扇出型晶圆级封装（FOWLP）、2.5D 及 CMOS 图像传感器的创新解决方案

• Clear-Sight Technology (CSI) 清晰视野照明系统—— 专用于多层 RDL 的检测技术

• 检测能力增强，分辨率可达 1.4 μm L/S

• 吞吐率提升两倍（2X TPT）

核心能力

• 亮场检测可达 0.5 微米，暗场检测可达 0.3 微米

• 多倍率可供选择以适配优化的检测分辨率

• 基于 CAD 图形的检测功能

• 可在一次循环扫描中同时实现多种不同的扫描方式，扫描方式可设置为不同的对焦点、镜头倍率、照明条件、敏感度以及检测算法

• 基于特征的缺陷分类