Golden Eagle

专为面板检测与量测设计

• 支持面板尺寸：高达650x650毫米
• 新型花岗岩平台
• 高端光学通道
• 基于CAD的检测技术
• 面向扇出型应用的RDL检测
• 专用算法实现卓越检测性能

产品亮点

• 检测灵敏度：明场0.8微米；暗场0.6微米
• 多倍率物镜优化灵敏度
• 配备滤色片的明场与暗场成像
• 基于CAD的智能检测
• 支持分区配置检测算法实现灵敏度优化
• 可实现不同焦距、照明和检测引擎的连续扫描