Compass

Compass 是一个功能强大的、基于 KLARF 格式的分析工具，旨在帮助您分析和可视化缺陷检测结果，以提高生产效率和良率。

Compass 提供自动警报系统，可实时识别不符合生产规范范围的值（例如某片晶圆/某批次的缺陷过多），并触发包含电子邮件通知的警报。

Compass 配备了一系列功能，使用户能够查看和显示由在线检测生成的标准数据文件。

功能

• 交互式钻取图表（Drill Down Chart） - 允许用户根据各种缺陷属性选择并显示当前数据集的子集。

• 快速分类功能（Rapid Classify） - 允许用户手动依次查看所有缺陷，并根据缺陷图像重新对它们进行分类。

• 芯片区域分析器（Die Zone Analyzer） - 允许用户根据缺陷的相对芯片位置对缺陷进行分类。

• 缺陷累加分析器（Defect Adder Analyzer） - 识别会传递到后续工艺步骤的缺陷。

• 聚类分析器（Cluster Analyzer） - 根据用户定义的聚类规则识别并分类缺陷簇。

• 光罩重复缺陷分析器（Reticle Repeater Analyzer） - 识别和分类在多颗芯片或光罩的相同相对位置出现的缺陷。

• 层重复缺陷分析器（Layer Repeater Analyzer） - 识别和分类在晶圆多层制造过程中的相同位置出现的缺陷。