Eagleᵀ-i Plus

领先的2D检测能力

· 算法提供的亚微米缺陷检测

· 可导入CAD设计图，基于图纸检测

· 多层RDL应用的清晰视觉光源

· 切割后晶片的内部裂纹检查（ICI）

· 背光照明技术

*********的平台

· 定制光学器件

· 高强度LED照明

· 显著提高了产量

突出点

· 检测灵敏度Bright Field-0.42μm；Dard Field-0.3μm

· 多重放大，优化灵敏度

· 可用分区域的检测算法，以优化灵敏度

· 可导入CAD设计图，基于图纸检测

· 能够在一个检测周期内使用不同的聚焦、放大倍率、光源、灵敏度和检测引擎运行连续扫描