Eagleᵀ-AP Plus

专为Eagle高级包装市场设计Eagleᵀ-AP Plus提供无与伦比的计量能力，同时保持极高的性能和吞吐量水平。

• 支持每个晶圆超过6000万个凸点

• 100%球高测量

• 凹凸范围：2-250μm

• 任何对象类型和大小的CD（直径）/套刻

• 真正的模具移位位置

• EBR（边缘无效区）测量

• 自动设置/校准

• 超高产量配置

• 高度和深度剖面

• 层厚度

能力

• 测量凸块高度、共面性、PR/PI厚度以及通孔开口深度和表面到表面计量

• Camtek三角测量传感器（CTS）：高速3D扫描

• Camtek共焦传感器（CCS）：3D高分辨率剖面图表

• Camtek光干涉仪剖面仪（CLIP）