Golden Eagle

专为面板检查和计量而设计

·       支撑面板尺寸–高达650x650mm

·       新花岗岩平台

·       高端光纤通道

·       可导入CAD设计图，基于图纸检测

·       Fanout(扇出)应用的RDL检查

·       用于卓越检测的专用算法

突出点

·       检测灵敏度亮场-0.8μm；暗场-0.6μm

·       多重放大，优化灵敏度

·       带滤色器的明暗场

·       可导入CAD设计图，基于图纸检测

·       可用分区域的检测算法，以优化灵敏度

·       支持使用不同的焦点、照明和检测引擎运行连续扫描