Compass

Compass是一个强大的、基于KLARF的分析工具，旨在帮助您分析和可视化缺陷检查结果，以提高生产率和产量。

Compass提供了一个自动警报系统，可实时识别不符合生产规范范围的值，例如每个晶圆/批次的缺陷太多，并触发警报，包括电子邮件通知。

Compass配备了一系列功能，使用户能够查看和显示在线检查生成的标准数据文件。

功能

• 向下钻取图表-允许用户根据各种缺陷属性选择并显示当前数据集的子集。

• 快速分类功能-允许用户手动排序所有缺陷，并根据缺陷图像重新分类。

• 芯片区域分析仪-允许用户根据缺陷的相对芯片位置对缺陷进行分类。

• 缺陷添加分析器识别扩散到后续工艺步骤的缺陷。

• 群集分析器-根据用户定义的群集规则识别和分类缺陷群

• 光照区域重复分析仪-识别并分类多个芯片或光照区域中相同相对位置的缺陷。

• 层级重复分析仪-识别和分类多个晶圆中相同相对位置的缺陷