标准的全自动晶圆量测设备将全球业内广泛认可的 300 mm 量测站点的功能与包含晶圆搬运系统的设备前端模块（EFEM）结合在一起。

带物料搬运单元（MHU）（全自动搬运，手动晶圆载具放置）的量测设备是专为半导体、MEMS、蓝宝石和LED行业开发的。

高精度光学表面量测设备用于快速、高效、无损地测量各种功能性、技术性表面特征指标。由 FRT Metrology 开发的多探头技术为此类测量提供了******的灵活性。

多探头概念与自研软件相结合