带MHU的半自动量测

带物料搬运单元（MHU）（全自动搬运，手动晶圆载具放置）的量测设备是专为半导体、MEMS、蓝宝石和LED行业开发的。典型应用包括在各种光刻工艺步骤中测量裸片、涂层晶圆和图形化晶圆。由于采用带有两个真空端效应器的机械臂，该设备具有非常高的吞吐量，每小时可达 180 片晶圆。可处理 2 至 8 英寸的晶圆尺寸。最多可处理 4 个开放式载具，并且可以在设备中集成预对准器和OCR读码器。