Acquire Automation XT

Acquire Automation XT 是一款全自动软件，用于部件的测量、测量数据的评估和结果的记录。在Acquire Automation XT中，轻松创建配方、多传感器测量或混合计量、符合行业标准或复杂的测量任务都是标准功能。通过集成不同的机器人系统和远程控制接口，完全集成到生产中是一个简单的步骤。

评估

基于配方的软件 Acquire Automation XT, 可以实现测量的全自动执行和评估。从各种软件包中选择适合您的测量任务的测量和评估程序。根据不同的评估方法，可以设置不同的参数。此外，还提供格式化函数（过滤器）。对于重复结构，一个带有图形用户界面（GUI）的布局向导可以支持您学习测量位置。此外，还可以通过模式识别进行样品微调，这是可选功能。

接下来，您将更了解我们的重点主题：多传感器设置、混合计量和缺陷检查。

食谱，结果，导出

不仅用户界面可以随时调整，测量结果的呈现和评估也可以根据您的需求进行个性化定制。单个组件上的不同测量位置，以及夹具中的多个类似样品，可以在一次测量过程中自动检查。为此，不同的样品几何形状可以通过模式识别和自动微调进行学习并调整到正确的测量位置。

处理，机器人，SECS/GEM

对于许多工业应用来说，进行全自动化测量并具有高通量率是必要的。为此，样品的自动处理是必需的。 MicroProf^® 专为 半导体和MEMS 行业设计，并且可以轻松配置以适应不同类型的样品和晶圆。

该处理单元 配备了带真空末端执行器的机器人手臂，用于打开或关闭的盒体的装载站，包括映射器和可选的OCR读取器，预对准器等。它可以处理2到12英寸的晶圆尺寸。根据配置，最多可以同时处理四个盒体。

处理系统的所有功能都可以通过FRT Acquire Automation XT的舒适用户界面访问，并且完全集成到流程中。

为了整合到现有的MES系统中，作为工业4.0的重要方面，我们提供不同接口的模块。在半导体领域，我们支持所有小于300mm的晶圆尺寸的SECS/GEM标准，以及300mm晶圆直径的GEM300标准。因此，我们涵盖了所有常见晶圆尺寸的处理。对于其他行业，我们还有其他模块可供选择，例如用于整合到iTAC中。