MicroProf® TL

FRT MicroProf® TL 是一款用于全自动3D表面测量的光学量测设备。与 MicroProf 系列的其他设备不同，TL 配备了 Thermo Unit（全集成加热/冷却台）以及由 Chemnitzer Werkstoffmechanik 提供的 DLS 形变传感器。借助这些功能，MicroProf TL 能够在热载荷条件下对样品的横向与纵向形变进行表征，从而模拟不同工艺步骤，或评估器件在实际工作条件下的表现。在测量过程中，可以通过简单的程式创建来设置需要的温度循环。

结合 Acquire Automation XT 软件，MicroProf TL 可实现全自动温度曲线运行。在程式中，用户能够在工艺流程中设定目标温度、升降温速率以及保温时间，并可在加热/冷却曲线上的特定设定点进行形貌与变形量测。系统支持全过程温度记录，并可选配第二个温度探头，用于监控样品特定位置的温度。