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内部隐裂成像检测

检测切割过程中产生的内部隐裂或侧壁裂纹至关重要,这些裂纹无法通过标准检测技术发现,最终可能会导致最终产品或关键系统(例如在汽车行业中)出现故障,从而给终端设备的制造商或最终用户带来重大损失。

传统红外(IR)检测需从晶圆背面进行,且需要预处理,不适用于生产环境(全晶圆扫描可能需要长达5小时)。而Camtek开创性的内部隐裂成像(ICI)技术可立即在晶圆切割后实现整片晶圆检测,并且是在大批量生产环境中实现内部隐裂检测。

产品亮点

  • 结合硬件(光学)与软件解决方案的独特专利技术
  • 内部隐裂检测的高准确率
  • 高生产效率 - 全晶圆扫描时间低于3分钟
  • ICI技术可部署于Camtek Eagle系列机台上
  • 支持升级
  • 内部隐裂扫描可作为附加检测程式与标准表面缺陷检测程式一起运行
  • 简便的程式设置
  • 可对内部隐裂缺陷进行简单分类

产品

Eagleᵀ-AP

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