RDL

面向多层RDL的专属解决方案

工艺波动、更小的尺寸以及多层再布线层,使得检测与量测面临严峻挑战。

为应对多层透明有机介质的成像难题,Camtek开发了专属成像解决方案,可显著抑制下层结构干扰,从而大幅提升顶层成像质量。我们的Clear Sight Illumination成像技术,不仅提升了线路开路与短路的检测能力,更有效减少了因下层结构干扰导致的误判缺陷。

核心能力

  • RDL检测与量测
  • 多层RDL检测
  • 多光学配置
  • 3D高度与共面性测量
  • 基于CAD的检测

核心技术

  • Clear Sight Imaging 清晰视野成像技术
  • Camtek独家白光三角测量传感器(第八代)
  • 用于缺陷检测与量测的先进处理引擎
  • 高分辨率3D共聚焦传感器
  • 用于3D量测的光干涉技术
  • 基于CAD的检测技术

产品

Eagle G5

专为实现无与伦比的扫描速度和生产效率而设计

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Eagleᵀ-i

高效精准缺陷检测

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Eagleᵀ-i Plus

卓越缺陷检测性能

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MicroProf® AP

灵活搭配多传感器的量测机台,适用于先进封装工序

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MicroProf® DI

高精度光学表面检测,专为半导体应用打造

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MicroProf® FS

面向MEMS与晶圆厂的多传感器技术与混合测量方案

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MicroProf® PT

面向先进封装半导体中的面板级量测与检测

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MicroProf® MHU

专为半导体、MEMS与LED行业设计的双手臂式机器人物料传输系统

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MicroProf® 200

通用型独立式量测工作站

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MicroProf® 300

高效能的量测机台,适用于质量管控、研发及制造各工序

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