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Mark III – 测量分析软件

FRT Mark III分析软件是一个全面的解决方案,用于处理、评估和展示您的2D或3D测量数据。最新的标准如粗糙度和波度计算以及许多处理和过滤功能都已实现。从广泛的选项中选择,例如粗糙度、平面度、台阶高度、层厚等,以选择适合您应用的分析功能。以3D、轮廓视图或顶视图的形式展示您的结果,并设计您自己的测量报告。这款用户友好型软件还具有广泛的导入和导出功能,并且可以自动对您的测量系列执行多个处理和评估步骤。

用于表面和轮廓测量评估的分析软件

  • SPM数据和其他众多导入格式的评估
  • 根据国际标准和指南(DIN EN ISO, SEMI等)确定表面参数
  • 各种显示选项,例如 3D 视图、直方图、成分百分比、自相关
  • 颗粒、孔隙和角度分析
  • 广泛的过滤和修改功能
  • 从面积测量中提取线性和曲线轮廓
  • 导出图形、PDF测量报告和其他导出格式
  • 可单独设计的测量协议布局
  • 免费更新

粗糙度、波度按照国际标准和指南

  • 根据DIN EN ISO 4287和DIN EN ISO 25178对轮廓和表面参数进行过滤和评估
  • 根据SEP 1941确定波浪度
  • 所有评估参数的单独设置

3D视图

  • 各种阴影方法
  • 自由选择视图和缩放
  • 大量的颜色表和用户定义颜色可供选择
  • 3D立体显示

亮点

  • 用于2D或3D测量处理、评估和可视化的综合解决方案
  • 实现许多处理和过滤功能
  • 用户友好型软件,具有广泛的数据导入和导出功能

产品

表面感

模块化光学计量装置用于混合表面过程控制

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MicroProf® TL

光学计量与可编程温度控制

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MicroProf® PT

先进半导体封装的面板计量与检测工具

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MicroProf® MHU

用于半导体、MEMS和LED行业的双臂机器人物料搬运单元

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MicroProf® FS

多传感器技术和混合计量技术用于MEMS和代工厂

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MicroProf® FE

全自动化前段应用计量学

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MicroProf® DI

高精度光学表面检测用于半导体应用

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MicroProf® AP

灵活的多传感器先进封装计量工具

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MicroProf® 300

强大的计量工具,用于质量保证、开发和制造

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MicroProf® 200

通用的、独立的计量工具

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