培养创新

基于CAD图形的检测

Camtek已经开发出一种独特的软件解决方案,通过使用CAD设计文件作为参考来简化工作设置。

该方法学的CAD食谱流程能够导入用于芯片、掩膜、晶圆和面板级别的CAD文件(例如GDSII格式),并将其用作理想的晶圆设计。

使用CAD设计文件作为参考,对于具有微小物体和特征的晶圆设计尤为重要,通过封装图纸中特征最准确的区域,可以实现晶圆特征上的完美区域叠加。

产品亮点

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  • 简洁的程式创建步骤,通过导入CAD文件快速实现检测程式设定
  • 适用于复杂芯片布局,无需手动为复杂结构创建检测区域
  • 对高分辨率检测(X10或X20)至关重要
  • 支持离线检测程式创建
  • 适用于晶圆、面板、光罩和掩模检测

产品

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