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MicroProf® FE
FRT MicroProf® FE 是 Camtek 的标准型、全自动 2D/3D 晶圆量测设备。它将成熟的 MicroProf® 300 与晶圆搬运系统（EFEM，前端模块）结合在一起。凭借完全符合 SEMI 标准的设计、几乎免维护的硬件组件以及高吞吐率检测能力，MicroProf FE 是前道大规模量产线的理想量测解决方案。
除了标准配置外，MicroProf FE 还可搭载多种附加功能，并支持后续升级扩展。
产品亮点
- 面向前道工艺的全自动 2D/3D 表面量测
- 多探头技术，支持混合量测
- 针对高产能晶圆厂的专用在线解决方案
- 单机械臂机器人，支持 300 mm 晶圆（SEMI 标准）搬运
- 真空吸附式末端执行器
- 双装载口，支持 300 mm FOUP 晶圆盒（SEMI 标准）
- 可选配预对准器和RFID 读码器
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