MicroProf® PT

MicroProf® PT是一款全自动量测设备，适用于所有常见尺寸的面板级混合量测应用。其面板搬运系统配备双面板装载机，并支持多探头配置（包括形貌点探头、视场探头及膜厚探头），能够在研发与生产（从实验室到量产工厂）中胜任多种量测与检测任务。

全新MicroProf® PT搭载核心量测组件，应用于面板级先进封装，不仅确立了其在大规模量产中的工业适用性，也满足了对器件极度微型化和日益严苛的系统性能要求，同时降低生产成本。

MicroProf® PT集成了SurfaceSens技术，能够提供广泛的量测与检测应用，并支持多种光学传感器量测原理。能够对Bump与TSV形貌、膜厚及层粗糙度等2D和3D参数进行高精度量测。